view in publisher's site

Design and Analysis of Serpentine Flexure Based RF MEMS Switch for High Isolation with Low Pull-in voltage

This paper presents the design and performance analysis of radio frequency micro electro mechanical system switches having serpentine flexure designs. In this paper, we have done, behavioral analysis by changing material, gap and thickness, increase in the actuation area using menders, impact of holes on effective working of the switch, stress analysis for low spring constant, electromechanical analysis for low pull-in voltage and high capacitance ratio, time dependent analysis for faster switching time, scattering parameter analysis for reducing RF losses are simulated and compared with the theoretical analysis. The significant improvements in this work are lesser air gap and beam thickness reduced the pull-in voltage to 2.75 V for 1.66 µm displacement, a rapid switching time of 0.9 µs obtained through simulation, an improved capacitance ratio of 157.25, isolation is 49.59 dB, insertion loss is 0.005 dB. Actuation area is increased, and switch area is reduced to achieve the optimum performance of the switch.

طراحی و تحلیل of MEMS مبتنی بر جداسازی با ولتاژ پایین با ولتاژ پایین

این مقاله طراحی و تحلیل عملکرد سوئیچ‌های دارای فرکانس رادیویی را نشان می‌دهد که دارای طرح خمشی serpentine هستند. در این مقاله، تحلیل رفتاری با تغییر مواد، شکاف و ضخامت، افزایش در ناحیه تحریک با استفاده از menders، تاثیر سوراخ‌ها بر روی کار موثر سوییچ، تحلیل تنش برای زمان سوئیچینگ کم، تحلیل پارامتر پراکندگی برای کاهش تلفات RF شبیه‌سازی شده و با تحلیل‌های نظری مقایسه شده‌است. بهبود قابل‌توجه در این اثر، فاصله هوایی کم‌تر و ضخامت شعاع کاهش می‌یابد - در جابجایی ولتاژ به ۲.۷۵ ولت برای جابجایی ۱.۶۶ میکرون، زمان سوئیچینگ سریع ۰.۹ درصد بدست‌آمده از طریق شبیه‌سازی، یک نسبت ظرفیت خازنی بهبود یافته ۱۵۷.۲۵ دسی‌بل، از دست رفتن درج، ۰.۰۰۵ دسی‌بل است. ناحیه actuation افزایش می‌یابد و ناحیه سوییچ به منظور دستیابی به عملکرد بهینه سوئیچ کاهش می‌یابد.

ترجمه شده با

Download PDF سفارش ترجمه این مقاله این مقاله را خودتان با کمک ترجمه کنید
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

95/12/18 - با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس و کروم٬ چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.