view in publisher's site

The effect of substrate temperature on the properties of d.c. reactive magnetron sputtered titanium oxide films

TiOx films are deposited on glass substrates (75 × 25 mm2) by d.c. reactive magnetron sputtering from a pure 99.6% Ti disk. During the sputtering process, oxygen partial pressure and total pressure are 6 × 10−2PPa and 8 × 10−1Pa respectively. The substrate temperature varied from ambient to 500 °C. The results of X-ray diffraction show that all films have an anatase crystal structure. The film deposited at ambient temperature is textured with the (101) crystal direction normal to the substrate surface. With increase in the substrate temperature, the films tend to be randomly oriented. When the substrate temperature is a above 450 °C, the film again has a preferred orientation. However, the preferred orientation is not (101) but (004). With the variation in substrate temperature, the optical properties (refractive index, optical band gap and extinction coefficient) of TiO2 films also change strongly. In this paper, these effects of substrate temperature on the films' properties are discussed.

اثر دمای زیر لایه بر روی خواص d. c. لایه نازک اکسید تیتانیوم لایه نازک اکسید تیتانیوم

لایه‌های نازک اکسید روی بس‌ترهای شیشه‌ای (۷۵ * ۷۵ میلی متر مربع)به وسیله d. c. sputtering magnetron reactive از یک دیسک خالص ۹۹.۶ درصد تشکیل شده‌است. در طول فرآیند کندوپاش، فشار جزیی اکسیژن و فشار کل به ترتیب ۶ * ۱۰ - ۲ ppa و ۸ * ۱۰ - ۱ پدر هستند. دمای زیر لایه از محیط تا ۵۰۰ درجه سانتی گراد متغیر بود. نتایج پراش اشعه ایکس نشان می‌دهد که تمام لایه‌ها دارای ساختار کریستالی آناتاز هستند. لایه‌ای که در دمای محیط رسوب می‌کند با جهت کریستالی (۱۰۱)نرمال به سطح زیر لایه، بافت دار شده‌است. با افزایش دمای زیر لایه، لایه‌ها به طور تصادفی جهت‌دار می‌شوند. وقتی دمای زیرلایه بالاتر از ۴۵۰ درجه سانتی گراد باشد، دوباره فیلم دارای یک جهت ترجیحی است. با این حال، جهت گیری ارجح نیست (۱۰۱)اما (۰۰۴). با تغییر در دمای زیرلایه، خواص نوری (ضریب شکست، شکاف نوار نوری و ضریب خاموشی)لایه‌های TiO۲ نیز به شدت تغییر می‌کند. در این مقاله، تاثیر دمای زیر لایه بر خواص فیلم‌ها مورد بحث قرار می‌گیرد.

ترجمه شده با

Download PDF سفارش ترجمه این مقاله این مقاله را خودتان با کمک ترجمه کنید
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

95/12/18 - با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس و کروم٬ چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.