view in publisher's site

Simulation and development of optimized microwave plasma reactors for diamond deposition

A computer program has been developed for the design and optimization of microwave plasma reactors used for the chemical vapour deposition (CVD) of diamond. The computer code consists of program modules for the calculation of electromagnetic field and plasma density distributions. The reliability of the simulation has been tested by modelling the reactor performance of the widely used cylindrical TM01 reactors, which show plasma instabilities at increased microwave power levels. An additional module is used for automatic optimization of the reactor performance. Based on the simulation program, a novel microwave plasma reactor employing an ellipsoidal cavity has been developed. This reactor has been realized and tested experimentally for microwave frequencies of 2.45 GHz and 915 MHz. The performance confirms the simulation results perfectly. Due to the plasma stability, these novel reactors are suitable for the growth of thick diamond layers with demonstrated areas up to 15 cm in diameter.

شبیه‌سازی و توسعه رآکتورهای پلاسمای بهینه برای رسوب الماس

یک برنامه کامپیوتری برای طراحی و بهینه‌سازی رآکتورهای پلاسمای مایکروویو که برای رسوب بخار شیمیایی (CVD)استفاده می‌شود، توسعه داده شده‌است. کد رایانه‌ای متشکل از ماژول های برنامه برای محاسبه میدان الکترومغناطیسی و توزیع چگالی پلاسما است. قابلیت اطمینان حاصل از شبیه‌سازی با مدل‌سازی عملکرد رآکتور از راکتورهای TM۰۱ استوانه‌ای که به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرند، مورد آزمایش قرار گرفته‌است. یک ماژول اضافی برای بهینه‌سازی اتوماتیک عملکرد رآکتور مورد استفاده قرار می‌گیرد. براساس برنامه شبیه‌سازی یک رآکتور پلاسمای جدید با استفاده از یک محفظه بیضی توسعه‌یافته ساخته شده‌است. این رآکتور به طور تجربی برای فرکانس‌های مایکروویو of و ۹۱۵ مگاهرتز آزمایش و آزمایش شده‌است. عملکرد نتایج شبیه‌سازی را کاملا تایید می‌کند. به خاطر پایداری پلاسما، این رآکتورهای جدید برای رشد لایه‌های ضخیم الماس با مناطق ثابت ۱۵ سانتی متر، مناسب هستند.

ترجمه شده با

Download PDF سفارش ترجمه این مقاله این مقاله را خودتان با کمک ترجمه کنید
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

95/12/18 - با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس و کروم٬ چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.