view in publisher's site

Comparison of diluent gas effect on the growth behavior of horizontal CVD SiC with analytical and experimental data

Silicon carbide films were produced through a low pressure CVD process in a horizontal hot wall deposition system. The computational simulation of gas velocity, temperature profile and pressure in the reaction chamber were conducted with varying process variables (i.e. temperature and dilute gas addition). The simulated results were adapted to the experimental results. The model showed the reasons for microstructural and growth rate variations of SiC film with temperature and diluent gas. All simulation results had important connections with temperatures, which had an effect on the growth atmosphere of the system.

مقایسه اثر گاز رقیق‌کننده بر رفتار رشد CVD افقی با داده‌های تحلیلی و تجربی

فیلم‌های سیلیکون کاربیدی از طریق یک فرآیند CVD فشار پایین در یک سیستم لایه نشانی دیوار داغ افقی تولید شدند. شبیه‌سازی محاسباتی سرعت گاز، پروفایل دما و فشار در محفظه واکنش با متغیرهای فرآیند مختلف (یعنی دما و افزودن گاز رقیق)انجام شده‌است. نتایج شبیه‌سازی شده با نتایج تجربی تطبیق داده شدند. این مدل دلایل تغییرات ریزساختاری و نرخ رشد فیلم SiC با دما و گاز رقیق‌کننده را نشان داد. تمام نتایج شبیه‌سازی اتصالات مهمی با دما داشتند که بر جو رشد سیستم تاثیر داشت.
ترجمه شده با


پر ارجاع‌ترین مقالات مرتبط:

  • مقاله General Chemistry
  • ترجمه مقاله General Chemistry
  • مقاله شیمی عمومی
  • ترجمه مقاله شیمی عمومی
  • مقاله Materials Chemistry
  • ترجمه مقاله Materials Chemistry
  • مقاله شیمی مواد
  • ترجمه مقاله شیمی مواد
  • مقاله Condensed Matter Physics
  • ترجمه مقاله Condensed Matter Physics
  • مقاله فیزیک ماده چگال
  • ترجمه مقاله فیزیک ماده چگال
  • مقاله Surfaces, Coatings and Films
  • ترجمه مقاله Surfaces, Coatings and Films
  • مقاله سطوح، روکش‌ها و لایه‌ها
  • ترجمه مقاله سطوح، روکش‌ها و لایه‌ها
  • مقاله Surfaces and Interfaces
  • ترجمه مقاله Surfaces and Interfaces
  • مقاله سطوح و واسط‌ها
  • ترجمه مقاله سطوح و واسط‌ها
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.