view in publisher's site

Electrical and optical properties of amorphous indium zinc oxide films

Valence electron control and electron transport mechanisms on the amorphous indium zinc oxide (IZO) films were investigated. The amorphous IZO films were deposited by dc magnetron sputtering using an oxide ceramic IZO target (89.3 wt.% In2O3 and 10.7 wt.% ZnO). N-type impurity dopings, such as Sn, Al or F, could not lead to the increase in carrier density in the IZO. Whereas, H2 introduction into the IZO deposition process was confirmed to be effective to increase carrier density. By 30% H2 introduction into the deposition process, carrier density increased from 3.08 × 1020 to 7.65 × 1020 cm− 3, which must be originated in generations of oxygen vacancies or interstitial Zn2+ ions. Decrease in the transmittance in the near infrared region and increase in the optical band gap were observed with the H2 introduction, which corresponded to the increase in carrier density. The lowest resistivity of 3.39 × 10− 4 Ω cm was obtained by 10% H2 introduction without substrate heating during the deposition.

ویژگی‌های الکتریکی و نوری لایه‌های اکسید روی اکسید ایندیم آمورف

مکانیزم‌های کنترل الکترون و مکانیزم‌های انتقال الکترون روی لایه‌های آمورف اکسید روی (IZO)مورد بررسی قرار گرفت. لایه‌های آمورف لایه نشانی توسط روش کندوپاش magnetron dc با استفاده از هدف IZO سرامیکی اکسید (۸۹.۳ wt. % in۲o۳ و % ۱۰.۷ wt. % ZnO)مورد بررسی قرار گرفتند. ناخالصی نوع N، نظیر as، Al و F نمی‌تواند منجر به افزایش تراکم ناقل در the شود. در حالی که معرفی H۲ در فرآیند رسوب‌گذاری IZO، برای افزایش تراکم ناقل، موثر بود. با معرفی H۲ در فرآیند رسوب‌گذاری، چگالی حامل از ۳.۰۸ - ۱۰۲۰ به ۷.۶۵ * ۱۰۲۰ cm - ۳ افزایش یافت که باید در نسل‌ها از جاه‌ای خالی اکسیژن و یا یون‌های interstitial + منشا گرفته شود. کاهش در پراکندگی در ناحیه نزدیک مادون‌قرمز و افزایش گاف انرژی نوری با معرفی H۲، که با افزایش تراکم حامل مطابقت داشت مشاهده شد. کم‌ترین مقاومت مربوط به ۳.۳۹ * ۱۰ - ۴ Ω cm با معرفی H [ ۲ ] H [ ۲ ] بدون گرمایش بس‌تر در طول لایه گذاری بدست آمد.

ترجمه شده با

Download PDF سفارش ترجمه این مقاله این مقاله را خودتان با کمک ترجمه کنید
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

95/12/18 - با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس و کروم٬ چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.