view in publisher's site

Connecting transport AMHS in a wafer fab

Automated material handling system (AMHS) plays a significant role in wafer fabrication. In this paper, a new concept of an automated material handling system in a 300 mm wafer fabrication, called the connecting transport AMHS, is proposed. It can accomplish the wafer moving tasks by using different types of vehicles between bays and, within each bay, by a single system with interconnected lines. In the connecting transport system, the time that is spent waiting for an empty vehicle is eliminated effectively, and the WIP level can be reduced. Four different vehicle types are found and their operational issues are also discussed. Furthermore, three different combinations of vehicles are found and the AMHS for a 300 mm wafer fab can be one of the above three methods, or any mixture of these methods. A simple mathematical model is used to determine the minimum number of vehicles for the different connecting transports.

اتصال انتقال AMHS در ویفر

سیستم کنترل مواد خودکار (AMHS)نقش مهمی در ساخت ویفر ایفا می‌کند. در این مقاله، مفهوم جدیدی از یک سیستم جابجایی خودکار مواد در یک ساخت ویفر ۳۰۰ میلی‌متری به نام انتقال اتصال AMHS پیشنهاد شده‌است. این سیستم می‌تواند وظایف حرکت ویفر را با استفاده از انواع مختلف وسایل نقلیه بین خلیج‌ها و درون هر خلیج توسط یک سیستم واحد با خطوط متصل به هم انجام دهد. در سیستم حمل و نقل ارتباطی، زمان انتظار برای یک وسیله نقلیه خالی به طور موثر حذف می‌شود و سطح WIP را می توان کاهش داد. چهار نوع وسیله نقلیه مختلف پیدا شده‌است و مسائل عملیاتی آن‌ها نیز مورد بحث قرار گرفته‌است. علاوه بر این، سه ترکیب مختلف از وسایل نقلیه یافت می‌شود و AMHS برای یک ویفر ۳۰۰ میلی‌متری می‌تواند یکی از سه روش بالا یا هر ترکیبی از این روش‌ها باشد. یک مدل ریاضی ساده برای تعیین حداقل تعداد وسایل نقلیه برای وسایل نقلیه متصل مختلف استفاده می‌شود.
ترجمه شده با


پر ارجاع‌ترین مقالات مرتبط:

  • مقاله Strategy and Management
  • ترجمه مقاله Strategy and Management
  • مقاله استراتژی و مدیریت
  • ترجمه مقاله استراتژی و مدیریت
  • مقاله Industrial and Manufacturing Engineering
  • ترجمه مقاله Industrial and Manufacturing Engineering
  • مقاله مهندسی صنایع و ساخت
  • ترجمه مقاله مهندسی صنایع و ساخت
  • مقاله Management Science and Operations Research
  • ترجمه مقاله Management Science and Operations Research
  • مقاله علوم مدیریت و پژوهش عملیاتی
  • ترجمه مقاله علوم مدیریت و پژوهش عملیاتی
سفارش ترجمه مقاله و کتاب - شروع کنید

با استفاده از افزونه دانلود فایرفاکس چکیده مقالات به صورت خودکار تشخیص داده شده و دکمه دانلود فری‌پیپر در صفحه چکیده نمایش داده می شود.