Processing, Structure, Properties, and Applications of PZT Thin Films

There has been a resurgence of complex oxides of late owing to their ferroelectric and ferromagnetic properties. Although these properties had been recognized decades ago, the renewed interest stems from modern deposition techniques that can produce high quality materials and attractive proposed device concepts. In addition to their use on their own, the interest is building on the use of these materials in a stack also. Ferroelectrics are dielectric materials that have spontaneous polarization in certain temperature range and show nonlinear polarization–electric field dependence called a hysteresis loop. The outstanding properties of the ferroelectrics are due to non-centro-symmetric crystal structure resulting from slight distortion of the cubic perovskite structure. The ferroelectric materials are ferroelastic also in that a change in shape results in a change in the electric polarization (thus electric field) developed in the crystal and vice versa. Therefore they can be used to transform acoustic waves to electrical signal in sonar detectors and convert electric field into motion in actuators and mechanical scanners requiring fine control. In a broader sense the ferroelectric materials can be used for pyroelectric and piezoelectric sensors, voltage tunable capacitors, infrared detectors, surface acoustic wave (SAW) devices, microactuators, and nonvolatile random-access memories (NVRAMs), including the potential production of one transistor memory cells, and applications requiring nonlinear optic components. Another set of potential applications seeks to exploit the ferroelastic properties in stacked templates where they are juxtaposed to ferromagnetic materials. Doing so would allow the control of magnetic properties with electric field, which is novel. Such templates taking advantage two or more properties acquired a new name and now goes by multiferroics. After a brief historical development, this article discusses technological issues such as growth and processing, electrical and optical properties, piezo, pyro, and ferroelectric properties, degradation, measurements methods, and application of mainly lead-zirconate-titanate (PZT = PbZr1−xTixO3). The focus on PZT stems from its large electromechanical constant, large saturation polarization and large dielectric constant.

پردازش، ساختار، ویژگی‌ها و کاربردهای فیلتر نازک PZT

اخیرا به دلیل خواص فروالکتریک و فرومغناطیسی، اکسید پیچیده‌ای دوباره ظهور کرده‌است. اگر چه این ویژگی‌ها چند دهه پیش به رسمیت شناخته شده‌بودند، علاقه تجدید شده ریشه در تکنیک‌های رسوب مدرن دارد که می‌تواند مواد با کیفیت بالا و مفاهیم ابزار پیشنهادی جذاب تولید کند. علاوه بر استفاده خودشان، علاقه به استفاده از این مواد در یک پشته نیز وجود دارد. فروالکتریک ها مواد دی‌الکتریک هستند که پلاریزاسیون خود به خودی در محدوده دمایی مشخص دارند و وابستگی میدان الکتریکی - پلاریزاسیون غیرخطی را نشان می‌دهند که حلقه پسماند نامیده می‌شود. خواص برجسته فروالکترونیک‌ها به دلیل ساختار کریستالی متقارن غیرمتمرکز ناشی از اعوجاج کم ساختار پروسکایتی مکعبی است. مواد فروالکتریک نیز فروالاستیک هستند که تغییر شکل منجر به تغییر پلاریزاسیون الکتریکی (در نتیجه میدان الکتریکی)در بلور می‌شود و برعکس. بنابراین می‌توان از آن‌ها برای تبدیل امواج صوتی به سیگنال الکتریکی در ردیاب‌های سونار و تبدیل میدان الکتریکی به حرکت در عملگرها و اسکنرهای مکانیکی که نیاز به کنترل دقیق دارند، استفاده کرد. در یک مفهوم وسیع‌تر، مواد فروالکتریک را می توان برای سنسورهای پیروالکتریک و پیزوالکتریک، خازن‌های قابل تنظیم ولتاژ، ردیاب‌های مادون‌قرمز، دستگاه‌های موج آکوستیک سطحی (SAW)، میکروعملگرها و حافظه‌های دسترسی تصادفی غیرفرار (NVM ها)، از جمله تولید بالقوه یک سلول حافظه ترانزیستور، و کاربردهایی که به مولفه‌های نوری غیرخطی نیاز دارند، به کار برد. مجموعه دیگری از برنامه‌های کاربردی بالقوه به دنبال بهره‌برداری از ویژگی‌های فروالاستیک در الگوهای روی هم انباشته هستند که در آن‌ها به مواد فرومغناطیسی نزدیک می‌شوند. انجام این کار امکان کنترل خواص مغناطیسی با میدان الکتریکی را فراهم می‌کند، که جدید است. چنین الگوهایی با استفاده از دو یا چند ویژگی یک نام جدید به دست آوردند و در حال حاضر توسط مولتی فرویک ها اداره می‌شوند. پس از یک توسعه تاریخی مختصر، این مقاله به بحث در مورد مسایل تکنولوژیکی مانند رشد و پردازش، خواص الکتریکی و نوری، پیزو، پیروو و خواص فروالکتریک، تخریب، روش‌های اندازه‌گیری و کاربرد زیرکونات - تیتانات اصلی (PZT = PbZr۱ - xTixO۳)می‌پردازد. تمرکز بر روی PZT از ثابت الکترومکانیکی بزرگ، پلاریزاسیون اشباع بزرگ و ثابت دی‌الکتریک بزرگ آن ناشی می‌شود.

ترجمه شده با